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制作电极的方法主要有真空蒸镀化学镀镍及银、铝浆印刷烧结等。银浆、铝浆印刷是目前太阳能电池板工业化生产中大量采用的工艺方法。
真空蒸镀法通常是指用带电极图形掩膜的电极模具板,覆盖在硅片表面进行真空蒸镀来制作电极的方法。掩膜是由光刻加工或激光加工的不锈钢箔或铍铜箔制成的。
化学镀镍法是应用镍盐(氯化钠和硫酸镍)溶液在强还原剂磷酸盐的作用下,依靠镀件表面具有的催化作用,使磷酸盐分解出生态原子氢,并将镍离子还原成金属镍,同时次磷酸盐分解析出磷。因此在镀件表面上获得镍磷合金的沉积镀层。
化学镀镍的配方很多,碱性溶液用于半导体镀膜比酸性溶液好。一种典型镀液的组分为氨化镍:30g/ L;氯铵:50g/L;柠檬酸铵:65g/L;次磷酸钠:10g/L。
真空蒸镀法和化学镀镍法是传统的制作电极的方法,都存在工艺成本较高、耗能大、批量小以及不适宜自动化生产等缺点。为了降低生产成本和提高生产效率,人们将生产厚膜集成电路的丝网漏印工艺引入制作太阳能电池板电极的生产中。在目前的规模化生产工艺中。正面的印刷材料普遍选用含银的浆料,主要是因为银具有良好的导电性、可焊性和在硅中的低扩敢性能。经丝网印刷退火所形成的金属层的导电性能取决于浆料的化学成分玻璃体的含量、丝网的粗糙度、烧结条件和丝网版的厚度。
1.栅线宽度较大,通常大于150μm,因此遮光较多;栅线电阻较大,电池填充因子较低;
3.目前采用全自动丝网印刷方法,在电池片正反两面印刷所需电极图形的银铅浆料,然后在高温气氛中烧结以形成欧姆接触。该工艺已经趋向成熟,栅线的宽度可降到约80μm,高度达到10一20μm。常用的工业化丝网印刷设备及快速烧结炉烧结。
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