太阳能电池板热交换法(Hem- Heat- Exchange Method)

    热交换法是目前国内外生产多晶硅锭的主流方法，美国GT Solur英国Cnyual Sytem德国ALD和KR Solar等公司都采用此法。其工艺特点主要是:坩埚和加热器在熔化及凝固全过程中均无相对位移。在坩埚工作台底部要设置一个热开关，熔化时热开关关闭，起隔热作用;凝固开始时热开关打开,增强坩埚底部散热程度，建立热场。热开关有法兰盘式平板式、百叶窗式等。热交换法的长晶速度受坩埚底部散热强度控制，如用水冷，则受冷却水流量(及进出水温差)控制。由于定向凝固只能是单方向热流(散热)，径向(即坩埚侧向)不能散热，即径向温度梯度趋于零，而坩埚和加热器又固定不动，因此随着凝固的进行，热场的等温度线(高于熔点温度)会逐步向上推移，同时又必须保证无径向热流，所以温场的控制与调节难度较大。

   液一固面逐步向上推移时，液固界面处温度梯度必须大于零 ，但随着界面逐步向上推移，温度梯度逐步降低直至趋于零。从以上分析可知，热交换法的长品速度及温度梯度是变化的。要直胜统高度受限制，要扩大容量只能靠增加硅锭的俄面积。此方法的另个优点是除热开减界不需要可移动的部件，所以护体的结构相对比较简单，热交换法结晶炉加热器有竖放和横放两类。

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